我们将测量位移量和检测物体位置的
传感器叫位移传感器。测量两物体空间相对距离的传感器也被视为位移传感器。位移传感器可分为接触式和非接触式两大类。接触式位移传感器将导杆与被测体固定在一起,再将导杆的位置信号转换成电信号。传统的接触式位移传感器有电阻式、电感式、电容式、电磁式和
光栅式几种。
不需要导杆而直接检测目标物位移的传感器成为非接触式位移传感器。非接触式位移传感器通常利用电感、电容或电磁技术、激光、远红外、微波或超声波技术进行测距。在需要建立和维护位置偏置的工程应用中,位移传感器的使用十分广泛。根据不同的要求,测量位移的范围也相差很大,从需要用长波长微波器件测量公里级的位移,到短波长微波器件测量米级的位移,到常用的各种
位移传感器测量的毫米级位移,以及用激光干涉法测量微米级位移,直到用x射线衍射干涉法测量亚纳米级位移。
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