压力传感器的制作方法

    压力传感器怎么制作?压力传感器在加工细节上应该注意些什么?压力传感器的详细介绍我们一起来了解一下。

    一种耐高温智能压阻式内燃机压力检测仪，其特征在于：由连接头、散热片、传感器散热片、耐高温压力传感器、信号处理电路、外接导线和液晶显示屏组成，从左至右依次为连接头、散热片、传感器散热片、耐高温压力传感器、外接导线，各部分之间通过螺纹紧固连接，信号处理电路安装在耐高温压力传感器壳中，通过导线与传感器芯片相连，液晶显示屏与外接导线相连。本实用新型创新之处在于取消了机械表式检测装置，采用了耐高温压阻式压力传感器，配置了信号处理电路和8字符液晶显示屏，使得读数直观便于操作、测试精度高和结果更加科学合理，同时具有了多种数据检测记录功能，从而研制了耐高温智能压阻式内燃机压力检测仪。

    在压力传感器的微细加工技术中要求在样品背面的掩膜上光刻出压力腔窗口的图形而且与正面图形严格对准。待别是在设计时必须将力敏电阻安排在膜内;有时离开膜边的距离仅为30P”。正反图形错开时，力敏电阻条对压力灵敏度响应便不对称，甚至有时有可能移到膜外，对压力便无响应。这种错位既可以有平移错动，也可以有角度错开。一般要求对形误差小于20。30”M.角度偏差约在30以内。