集成化多功能传感器待步步向前

    随着传感器及微加工技术的发展，人们可以在同一衬底材料上制作几种敏感元器件，制成能够检测多个参量的集成化多功能传感器。多功能传感器主要有以下几种不同的工作原理及结构形式：几种不同的敏感元器件制作在同一个硅片上，制成集成化多功能传感器，该种传感器集成度高、体积小，各个敏感元器件的工作氛围相同，容易实现补偿和校正，这是多功能传感器发展的一个方向；几种不问的敏感元器件组合在一起形成一个传感器，可以同时测量几个参数，各敏感元器件是独立的，如将测量温度和测量湿度敏感元件组合在一起．构成温湿度多功能传感器；用同一个敏感元器件的不同效应，得到不同的信息，如将线圈作为敏感元件，在具有不同磁导率或介电常数物质的作用下，表现出不同的电容和电感。

    同一个敏感元件在不同激励下表现出不同特性，例如传感器施加不同的激励电压、电流，在不同温度下，其特性不同，有时可相窜于几个不同的传感器。有的多功能传感器检测出的几个信息混在一起，需要用信号处理的方法将各种信息进行分离。

    就近些年看来，多功能集成化传感器研究受到国内外的广泛关注，国内外文献报道，已经有用于环境监测、化学分析、生物保护等方面的集成传感器。随着MEMS技术和比技术的不断发展，实现传感器的集成化、多功能化成为可能。